BUPERMANN：半導体装置向け遊星減速機

半導体加工の分野において、実践的に半導体製造装置は、かさ歯車精密サーボ減速機に対して非常に厳しい要求を課すことが実証されています。

高強度、高精度、直角転換、高負荷容量と剛性が求められます。

BUPERMANNはお客様との緊密な連携を通じて、当社の製品は継続的に改良されてきました。

BUPERMANN90度直角サーボ減速機は半導体業界での応用において、具体的なニーズに応じて標準製品を提供し、個別に設定を行い、信頼性が高く高精度なソリューションを実現します。

半導体装置の応用要件

半導体装置における高精度位置決め、高減速比、90度方向転換などの用途では、かさ歯車減速機に高減速比かつ高精度であることが求められます。